授课教师：张钦彤

教师简介：

张钦彤，北方华创微电子装备有限公司PVD事业部任PVD工艺技术总监。2011年毕业于吉林大学物理公司，获物理学学士学位，2016年毕业于中国科公司物理所磁学国家重点实验室，获理学博士学位，师从韩秀峰研究员，从事自旋电子学方向的研究。

博士毕业后进入微电子与集成电路制造领域，一直从事金属化工艺技术方面的工作，在12英寸先进制程的金属化工艺积累了丰富的经验和成果，深度参与了若干Logic和Flash产品线金属化工艺的开发与量产导入。

课程简介：

集成电路专用装备，作为集成产业链的重要一环，是关系国计民生的基础产业，作为汇集了机械、电气、等离子体、热力学、化学、计算机、射频等数十个学科门类的技术及人才密集型产业，在现阶段面临着前所未有的挑战与机遇。

本课程的目的和任务：以产业发展历程入手，介绍集成电路装备基本概念、产业发展简史以及应用场景，使员工掌握集成电路制造工艺与装备技术的基本理论、基本知识，建立起相对完整和系统的概念，了解集成电路制造相关领域的新技术、新设备、新工艺，为员工后续在集成电路领域从事科研和技术工作奠定良好的理论基础。在此基础上，通过对产业现状和前景的介绍，帮助集成电路及相关专业同学树立专业信心，激发产业报国热情。